電子特種氣體是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。IC制造主要包括清洗、沉積/CVD、光刻、刻蝕、離子注入、成膜等工藝，從單個芯片生成到最后器件的封裝，幾乎每一個環節都離不開電子氣體，因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。

在微電子、光電子器件生產過程中，電子氣體成本占IC材料總成本的5%～6%，雖然看似占比不大，但在很大程度上決定了半導體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高一個數量級，都會極大地推動半導體器件質的飛躍。

半導體行業用電子特氣

清洗：Cl₂、ClF₃、NF₃、C₂H₆、SF₆、HCl等

沉積：NH3、N2O、TEOS、SiH4、NO、WF6

光刻：Ar、F2、Ne、Kr、He等

刻蝕：NF3、C4F8、COS、CF4、C3F6、HF、 CH3F、SiF4、SF6、BF3等

離子注入：BF3、B2H4、AsH、TEB、TEPO、PH3

外延：HCl、SiH2Cl2、SiHCl3等

科哲電子特氣清洗用閥門

氯氣CL2

特氣閥門：BF200 CGA DISS728-3/4NGT 適用氣體：CL2

特氣閥門：BF200A-CGA DISS728-3/4NGT 適用氣體：CL2

三氟化氮NF₃

NF3是在微電子制造中的一種優良的等離子蝕刻氣體和CVD清洗氣體。在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。

特氣閥門：BF200 CGA670 3/4NGT  適用氣體：BrF5、BrF3、HF、NF3

特氣閥門：BF200 CGA670 PZ27.8 適用氣體：BrF5、BrF3、HF、NF3

特氣閥門：BF200 CGA DISS640 3/4NGT 適用氣體：NF3

C₂H₆

特氣閥門：BF200-CGA350 3/4NGT 適用氣體：CO、H2、C2F2H2、C2H6

特氣閥門：BF200-CGA510 3/4NGT 適用氣體：C4H10、C2H6O、C4H8

特氣閥門：BF200-JIS22LH 3/4NGT 適用氣體：BF3、CO、C2H6、C2H4、H2、Xe

特氣閥門：BF200-JIS22LH PZ27.8 適用氣體：BF3、CO、C2H6、C2H4、H2、Xe

特氣閥門：BF200-JIS26LH 3/4NGT 適用氣體：CIF3、C2H6O、C2CIH5、Xe

特氣閥門：BF200-JIS26LH PZ27.8 適用氣體：CIF3、C2H6O、C2CIH5、Xe

特氣閥門：BF100-CGA350 3/4NGT  適用氣體：CO、H2、C2F2H2、C2H6

科哲（上海）閥門有限公司位于上海市金山區。公司于2012年初成立研發團隊，歷經多年的不懈研發和技術提升，實現了電子特氣不銹鋼閥門的國產化、專業化和先進化。公司于2022年獲得了上海市高新技術企業證書，于2023年獲得上海市專精特新和創新型中小企業的認定。公司擁有自有知識產權，發明專利、實用新型專利、注冊商標、軟件注冊等四十余項專利，并通過了質量體系認證，建立了完善的質量管理體系和專業的技術與生產團隊。為了給客戶提供更全面、更可靠的產品及服務，公司于 2023年完成首輪戰略融資，借助資本的優勢，努力完善公司的綜合服務能力，為下一步快速發展，積蓄力量。

近年來半導體及電子特種氣體行業得到了大力發展，不銹鋼閥門作為電子特氣包裝物的關鍵部件，長期受限于國外產品，始終并未得到解決。我公司針對不銹鋼閥門在半導體及特氣行業的不斷投入、潛心研究，突破了國外技術壁壘，填補了國內不銹鋼閥門在電子特氣使用上的空白。在笑氣、氦氣等大多數惰性氣體，以及氯化氫、硫化氫、溴化氫、三氯化硼、羰基硫、磷烷、硅烷等腐蝕性氣體和其他危害性氣體閥門上做出國產化替代，有效改善了不銹鋼閥門完全依賴進口的狀況。